研磨液对研磨机械的使用有着怎样的影响?

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    研磨液对研磨机械的使用有着怎样的影响?

    研磨液大家都不会陌生吧,在化学机械研磨工艺中可扮演了一个很重要很重要的位置,研磨液中的研磨颗粒会机械化地摩擦晶圆的表面而且移除表面的薄膜。研磨液中的化学物质会与表面薄膜或者研磨形成产生化学反应将其薄膜溶解或者是形成化合物,最后这个化合物会被研磨颗粒移除掉。研磨液中的添加物可以让我们达到要求的研磨效果。

    研磨液通常是指带有研磨作用的研磨颗粒和化学添加物组成的水性化学溶液。不同的研磨制程需要不同的研磨液,因此研磨液通常会针对某一种特殊的应用而作相应的处理和配置。

    研磨液的添加物可以控制PH值,可以影响到化学机械研磨工艺中的化学反应并协助达到最近的工艺结果。

    研磨液在加工中的主要作用:

    1. 润滑作用,研磨液中的润滑耐高温 耐高压能力能减少磨粒 磨屑与研磨表面的摩擦,起到润滑的作用。

    2. 悬浮作用,研磨液能吸附在固定颗粒表面产生足够高的位垒,让颗粒分散开来达到分散悬浮的特点

    3. 去损作用,碱性和硅发生化学反应使后歩工序加工量变小,增加出片量,降低成本。

    4. 冷却作用,冷却性和润滑性并用,相互补充可以获得优越的使用效果。

    5. 清洗作用,选择适宜表面活性剂和采用大的稀释比水溶解,大大的提高了清洗的效果,让研磨产物不会形成难清洗的表面吸附。

    6.防锈作用,研磨液本身具备的功能。

     研磨液

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